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#测厚/面密度

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9月29日周二
9月10日周四
  1. Semiconductor Engineering · Metrology57

    超越厚度测量:如何利用皮秒超声技术控制 BCD 器件的 SiCr 工艺

    皮秒超声量测平台通过同步采集厚度与反射率数据,为 BCD 器件的 SiCr 薄膜沉积提供厚度之外的工艺监控信息。两种 N₂ 流量条件的晶圆演示显示,较高流量下薄膜更薄、反射率更高,后者与更平滑、致密的表面相符。反射率可作为表面形貌与粗糙度的定性指标,无需额外量测步骤即可辅助识别气流相关沉积变化及潜在工艺异常。

9月2日周三
  1. Mahlo News31

    Mahlo 将亮相 CINTE 2026,展示 Qualiscan QMS 在线质量控制系统

    Mahlo 将在 CINTE 2026 展示 Qualiscan QMS 在线质量控制系统及过程控制解决方案,面向无纺布生产。该系统可测量整幅材料的克重、厚度和水分,结合传感器与过程控制技术,帮助生产商及早识别工艺波动、减少浪费并保持产品质量稳定。展位位于 Hall W5 / Booth A06。

8月11日周二
  1. Semiconductor Engineering · Metrology70

    Onto Innovation如何利用皮秒超声技术控制BCD器件的SiCr薄膜厚度

    Onto Innovation作者团队展示了皮秒超声技术用于BCD器件SiCr薄膜的无损测厚,动态重复性优于0.5Å(1σ)。团队通过一次性截面TEM校准,将该特定沉积工艺的薄膜声速确定为69.7Å/ps,再利用声学回波往返时间计算厚度。DOE厚度偏移实验及晶圆内13点采样呈现一致趋势,为腔室认证、片间与片内均匀性监控提供依据。

7月2日周四
  1. 国家标准委 国家标准公告65

    国家标准委批准发布《优质碳素结构钢热轧钢板和钢带》等508项推荐性国家标准及1项修改单

    国家标准委批准发布《优质碳素结构钢热轧钢板和钢带》等508项推荐性国家标准和1项推荐性国家标准修改单。清单中的 GB/T 15636-2026《电离辐射厚度计》、GB/T 10575-2026《无水氯化锂》和 GB/T 13578-2026《橡胶塑料压延机》均于2026-07-02发布,2027-02-01实施。

    推荐理由:公告列明电离辐射厚度计等标准的编号与实施日期,可为相关设备企业核对适用标准及安排标准切换提供时间依据。

5月28日周四
5月18日周一
5月12日周二
  1. Semiconductor Engineering · Metrology54

    特色半导体器件发展系列第三篇:如何解决 MEMS、光子器件与共封装光学的工艺控制挑战

    MEMS、CMOS 图像传感器、SiC 与 GaN 功率器件及共封装光学(CPO)的工艺控制,可通过跨设备、跨层及跨工序关联量测与检测数据改善。RF BAW 案例将在线厚度量测与逐片修整反馈闭环结合,使晶圆内不均匀性降低一个数量级;功率器件案例结合衬底与外延缺陷图及电阻率测量,识别纵向传播且低电阻率的致命缺陷。

4月29日周三
4月23日周四
  1. Mahlo News49

    Mahlo亮相Techtextil,展示测控技术与自动整纬系统

    Mahlo将在法兰克福Techtextil展会展示面向产业用纺织品和无纺布的测控技术及自动整纬系统。重点展品Qualiscan QMS可在线测量克重、面密度、厚度、温度及停留时间,并同时采集分析多个数值或材料层。公司还将展示用于未粘合无纺布非接触式在线测量的新型X-ray传感器。