天准科技龙门影像仪圆弧飞拍方案用于半导体喷淋盘精密测量
天准科技采用VMG龙门型大行程影像仪与Vispec测量软件,以圆弧飞拍连续采集喷淋盘微孔图像,称实际应用中检测效率较传统方案提升10.2倍。方案配置13.3:1自动变倍镜头,最大放大倍率达337倍,可批量测量微孔直径、位置度及坐标等参数。软件支持导入DXF图纸并自动对位校准,减少人工找正和逐孔编程,测量后自动输出标准化检测数据及报表。
推荐理由:将逐孔停顿成像改为沿圆弧连续采集的方案,为高密度微孔工件减少重复启停与定位耗时提供了可参考的量测方法。