Semiconductor Engineering · Metrology· Charlie Zhu·· 2026-04-14AI 评分41
智能优势：AI 如何变革半导体制造中的检测与量测
The Smart Advantage: How Artificial Intelligence Is Transforming Inspection And Metrology In Semiconductor Manufacturing
AI 导读
AI 正通过自动化缺陷识别与实时在线分析，改变半导体制造中的检测与量测，提高准确性并减少误判。Nordson 的 SQ3000 Multi-Function System 利用深度学习识别传统方法可能漏检的微小缺陷。其 Eagle AI 结合监督与无监督学习，而客户数据的安全性、保密性及可用性仍是模型训练的重要挑战。
来源：Semiconductor Engineering · Metrology · semiengineering.com