谁掌握碳化硅长晶炉核心技术？国内设备企业盘点

天科合达、晶升股份、优晶科技等国内企业持续推进碳化硅长晶炉及配套工艺研发，推动关键装备国产化。天科合达自主研发的第五代SiC单晶生长炉性能达到国外同类水平，成本仅为其1/4。优晶科技UKING ERH SiC RV4.0电阻法碳化硅长晶设备可用于6英寸、8英寸量产。