天准科技以 CMZ 系列三坐标测量机支持半导体光学镜头精密部件检测

天准科技针对半导体光学镜头精密部件的深腔结构及≤0.005 mm同轴度要求，提供以 CMZ 系列计量型三坐标测量机为核心的检测方案。方案搭配 HSP 系列固定扫描测头与 Vispec Cube 三维测量软件，扫描速率最高可达 1000 points/s，最大支持 800 mm 测针长度，并通过加长测针刚度补偿修正形变误差。